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晶瑞股份顺利购得ASML ArF浸入式光刻机

       PCB抄板是反向技术研发一个重要的应用领域。利用PCB抄板对产品进行拆解,从产品的pcb文件、BOM清单、原理图等设计要素入手进行研究,从而达到对引进技术进行消化、吸收和再创新的目的。迄今为止,PCB抄板已经形成一个较为成熟的行业,市场布局也从先前的克隆与复制逐渐向技术改造更新和高端化方向发展。

       近日,苏州景瑞化工有限公司(以下简称“景瑞有限公司”)宣布,通过多方协商和积极运作,公司已成功购买一台ASML XT 1900 Gi光刻机,该机于2021年1月19日运抵苏州,并成功迁入公司高端光刻胶研发实验室。


据悉,晶瑞化学分析此次进行采购的光刻机技术设备为ASML XT 1900 Gi型ArF浸入式光刻机,可用于企业研发能力最高水平分辨率达28nm的高端以及光刻胶。该设备于2020年11月19日从原厂断电保护停机,于2021年1月19日运抵中国苏州并成功搬入城市公司发展高端光刻胶生产研发创新实验室。

公告信息显示,本次购买的ASML光刻机设备系晶瑞股份集成系统电路设计制造用高端光刻胶研发投资项目的必要研究实验教学设备,旨在研发出更高端的ArF光刻胶,若研发管理工作进展顺利,将有助于提高公司将光刻胶产品时间序列数据实现到ArF光刻胶的跨越,并最终目标实现主要应用于12英寸芯片制造的战略发展布局。

景瑞股份表示,公司已完成试点KrF光雷醇已进入客户测试阶段,分辨率达到0.15米。光响应机的顺利进入,保证了公司集成电路制造高端光响应研发项目关键设备的技术先进性,对加快产品研发项目进度具有积极的影响。

“公司目前生产销售的半导体光刻胶主要有i线和g线光刻胶,另外还有印刷电路板(PCB)和液晶显示器(LCD)光刻胶等。;晶瑞在咨询《经济观察报》有关光刻胶生产和发展现状时表示,此次采购的光刻胶主要用于未来高端半导体光刻胶的研发

公告显示,下一步,精瑞股份将积极组织相关资源,尽快完成设备的安装调试。

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