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龙微科技针对高真空电阻蒸发镀膜机抄板圆满完成

  龙微科技针对高真空电阻蒸发镀膜机抄板圆满完成,高真空电阻蒸发镀膜机配两对或三对蒸发电极,适用于实验室制备金属单质膜、有机膜、扫描电镜制样等,也可用作教学及生产线前期工艺试验等。基片台采用加热及温控系统(可选),以提高成膜质量。
  主要技术指标
  真空腔室 玻璃钟罩+底座,ф300×H360mm;
  真空系统 涡轮分子泵+直联旋片泵,电磁前级阀,“一低一高”数显复合真空计;
  真空极限 优于2.0×10-4Pa (1.5×10-6Torr);
  抽速 从大气抽至7×10-3Pa≤15min;
  可镀膜尺寸 120mm;基片台可定制;
  控制方式 手动按钮控制;
  报警及保护 对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施;
  占地面积 长×宽: 1200×800mm;
  总功率 抽真空状态功率: 700W;蒸发状态功率: ≤3.2KW;
  如有抄板需要请与我公司商务中心联系。