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我公司针对OLED器件制备系统克隆圆满完成

  我公司针对OLED器件制备系统克隆圆满完成, 该器件制备设备可制备有机小分子电致发光器件,并且可以对器件进行封装。OLED器件不暴露大气中。设备由有机蒸镀室、金属蒸镀室、磁控溅射镀膜室、预处理室(过渡仓)、手套箱(含除水氧及其水氧监测系统)等组成,其他组合可选。整机一体化设计,各腔室独立真空系统,极限真空度高,各室均可相对独立工作。手动控制及必要保护系统,既操作方便,又减少误操作对系统损坏。旋转基片台及掩膜板精确设计,装、卸基片零活,磁力机械手传递准确、到位。
  
        主要技术指标:
  主要功能及参数 膜厚不均匀性<±5%;极限真空8.0×10-5Pa;升压率:0.5Pa/h;手动控制及连锁保护;断水保护分子泵及电源、电源保护;机械手/手动传递等
  有机蒸镀腔室 规格:L450mm×W400mm×H450mm,304不锈钢;独立复合分子泵真空系统;自/手动控制;膜厚监测及控制;有机蒸发电极4-6对(含防污挡板)及电源
  金属蒸镀腔室(或与有机蒸镀腔室复合一腔) 规格:L450mm×W400mm×H450mm,304不锈钢;独立复合分子泵真空系统;自/手动控制;膜厚监测及控制;金属蒸发水冷电极4对(含防污挡板)及电源
  预处理室 Φ300mm×H450mm;可加热或等离子清洗及样片传递
  磁控溅射镀膜室 规格:L450mm×W400mm×H450mm,304不锈钢;独立复合分子泵真空系统;基片台加热室温至300℃可控可调;自/手动控制;2只永磁靶及溅射电源;膜厚监测及控制
  手套箱 标准  单/双 工位 (含水分析仪、氧分析仪)
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